Спектроскопическая диагностика неравновесной фторуглеродной HF-плазмы низкого давления / В.В.Ажаронок, И.И.Филатова, В.Д.Шиманович, С.Л.Парахневич, Н.П.Олтншец, М.В.Кунашевич, О.В.Лукьянцев // Неравновесные процессы и их применения: сб. науч. тр. – Минск : Институт тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова НАН Беларуси