Моделирование зависимостей параметров плазмы в модулированном разряде постоянного тока CF4 DC


Автор:  Н.А.Попов, Д.И.Словецкий, В.Н.Волынец
 
Моделирование зависимостей параметров плазмы в модулированном разряде постоянного тока CF4 DC / Н.А.Попов, Д.И.Словецкий, В.Н.Волынец // Неравновесные процессы и их применения: сб. науч. тр. – Минск : Институт тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова НАН Беларуси