Численное моделирование процессов тепломассопереноса в PECVD реакторах для выращивания кремниевых пленок в условиях интенсивного образования высших силанов в газовой фазе / Ю.Е. Горбачев, М.А. Затевахин, А.А. Игнатьев, В.В. Кржижановская. // Минский международный форум по тепломассообмену: сб. науч. тр. – Минск : Институт тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова НАН Беларуси