Теплообмен в наноразмерных МЭМС структурах широкодиапазонных датчиков оптического излучения= / Филатов С. А., Таратын И. А., Кернасовский Ю. М., Батырев Е. В., Долгих М. Н., Филатова О. С., Кучинский Г. С. // Минский международный форум по тепломассообмену: сб. науч. тр. – Минск : Институт тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова НАН Беларуси