Влияние газодинамики на процесс газофазного осаждения структур, активируемых низкотемпературной плазмой
Автор: Одинокое В. В., Павлов Г. Я., Самойликов В. К., Иракин П. А.
Одинокое В. В., Павлов Г. Я., Самойликов В. К., Иракин П. А..
Влияние газодинамики на процесс газофазного осаждения структур, активируемых низкотемпературной плазмой. //
XIV Минский международный форум по тепломассообмену.