Влияние газодинамики на процесс газофазного осаждения структур, активируемых низкотемпературной плазмой / Одинокое В. В., Павлов Г. Я., Самойликов В. К., Иракин П. А. // Минский международный форум по тепломассообмену: сб. науч. тр. – Минск : Институт тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова НАН Беларуси