Экспериментальное исследование тепломассообмена при осаждении слоев из газовой фазы при пониженном давлении


Автор:  В.К. Самойликов, С.Н. Батюк, К.-Г.М. Шварц.
 
В.К. Самойликов, С.Н. Батюк, К.-Г.М. Шварц..  Экспериментальное исследование тепломассообмена при осаждении слоев из газовой фазы при пониженном давлении. //  I Минский международный форум по тепломассообмену.