Экспериментальное исследование тепломассообмена при осаждении слоев из газовой фазы при пониженном давлении
Автор: В.К. Самойликов, С.Н. Батюк, К.-Г.М. Шварц.
В.К. Самойликов, С.Н. Батюк, К.-Г.М. Шварц..
Экспериментальное исследование тепломассообмена при осаждении слоев из газовой фазы при пониженном давлении. //
I Минский международный форум по тепломассообмену.