Экспериментальное исследование тепломассообмена при осаждении слоев из газовой фазы при пониженном давлении


Автор:  В.К. Самойликов, С.Н. Батюк, К.-Г.М. Шварц.
 
Экспериментальное исследование тепломассообмена при осаждении слоев из газовой фазы при пониженном давлении / В.К. Самойликов, С.Н. Батюк, К.-Г.М. Шварц. // Минский международный форум по тепломассообмену: сб. науч. тр. – Минск : Институт тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова НАН Беларуси