Тепломассоперенос в процессах химического осаждения неорганических покрытий из газовой фазы при пониженных давлениях
Автор: B.П. Попов, В.Г. Минкина.
Тепломассоперенос в процессах химического осаждения неорганических покрытий из газовой фазы при пониженных давлениях / B.П. Попов, В.Г. Минкина. // Минский международный форум по тепломассообмену: сб. науч. тр. – Минск : Институт
тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова НАН Беларуси