Термокинетическая неустойчивость при химическом осаждении пленок , двуокиси кремния из газовой фазы


Автор:  В.Е. Аверьянов, А.М, Томчинский, Т.И. Юшина.
 
Термокинетическая неустойчивость при химическом осаждении пленок , двуокиси кремния из газовой фазы / В.Е. Аверьянов, А.М, Томчинский, Т.И. Юшина. // Минский международный форум по тепломассообмену: сб. науч. тр. – Минск : Институт тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова НАН Беларуси