Термокинетическая неустойчивость при химическом осаждении пленок , двуокиси кремния из газовой фазы
Автор: В.Е. Аверьянов, А.М, Томчинский, Т.И. Юшина.
В.Е. Аверьянов, А.М, Томчинский, Т.И. Юшина..
Термокинетическая неустойчивость при химическом осаждении пленок , двуокиси кремния из газовой фазы. //
I Минский международный форум по тепломассообмену.