Термокинетическая неустойчивость при химическом осаждении пленок , двуокиси кремния из газовой фазы


Автор:  В.Е. Аверьянов, А.М, Томчинский, Т.И. Юшина.
 
В.Е. Аверьянов, А.М, Томчинский, Т.И. Юшина..  Термокинетическая неустойчивость при химическом осаждении пленок , двуокиси кремния из газовой фазы. //  I Минский международный форум по тепломассообмену.