Метрологическая система оптимизации тепло- массопереноса газофазного осаждения слоев


Автор:  В.К. Самойликов, С.Н. Батюк
 
В.К. Самойликов.  Метрологическая система оптимизации тепло- массопереноса газофазного осаждения слоев. //  III Минский международный форум по тепломассообмену.