Метрологическая система оптимизации тепло- массопереноса газофазного осаждения слоев / В.К. Самойликов, С.Н. Батюк // Минский международный форум по тепломассообмену: сб. науч. тр. – Минск : Институт тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова НАН Беларуси