Моделирование процессов тепломассообмена при газофазном химическом осаждении слоев селенида цинка в проточном реакторе


Автор:  B. Г. Минкина
 
Моделирование процессов тепломассообмена при газофазном химическом осаждении слоев селенида цинка в проточном реакторе / B. Г. Минкина // Минский международный форум по тепломассообмену: сб. науч. тр. – Минск : Институт тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова НАН Беларуси