Численная оптимизация плазмохимических реакторов травления с учетом неизотермичности / Ю.Н. Григорьев, А.Г. Горобчук // Минский международный форум по тепломассообмену: сб. науч. тр. – Минск : Институт тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова НАН Беларуси