ТОМ 76,   №4

Высокотемпературное осаждение пленок углерода


В приближении задачи Стефана построена математическая модель роста углеродной пленки при высокотемпературном осаждении. Проанализировано влияние различных факторов на максимально возможную толщину пленки. Показано, что пористость пленки является принципиально важным фактором, который через величину эффективной теплопроводности определяет динамику ее роста.

Автор:  С. П. Фисенко, Б. Н. Базылев, Г. Вюрц
Стр:  3-6

С. П. Фисенко, Б. Н. Базылев, Г. Вюрц.  Высокотемпературное осаждение пленок углерода // Инженерно-физический журнал. 2003. ТОМ 76, №4. С. 3-6.


Возврат к списку