ОПЫТ ОСАЖДЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ ГАЗОСТРУЙНЫМ МЕТОДОМ

Экспериментально исследовано газоструйное осаждение углеродных и алмазоподобных пленок на подложку при активации газа-предшественника горячей проволочной сеткой. Испытано несколько конструкций проволочного активатора для осаждения пленок из газовой смеси CH₄, H₂, Ar. Углеродная структура полученных пленок определена по спектрам комбинационного рассеяния cвета.
Автор:  Володин В. А., Емельянов А. А., Ребров А. К., Тимошенко Н. И., Юдин И. Б.
Ключевые слова:  газоструйное осаждение, термические активаторы, углеродные пленки, спектры комбинационного рассеяния света
Стр:  93