СВОЙСТВА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ ИМПУЛЬСАМИ НАНОСЕКУНДНОЙ ДЛИТЕЛЬНОСТИ

Изложены результаты использования лазерного излучения наносекундной длительности импульса в технологии создания сверхбольших интегральных схем. Показано, что в зависимости от режима обработки можно как устранять механические нарушения кристаллической решетки кремния, так и создавать геттерирующий слой, обеспечивающий очистку кремния от примесных загрязнений.
Автор:  В. А. Пилипенко, Д. В. Вечер, В. А. Горушко, В. С. Сякерский, Т. В. Петлицкая
Стр:  592