ТОМ 84,   №3

ОСАЖДЕНИЕ КАТОДНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК В ПЛАЗМЕ СЛАБОТОКОВОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ


Плазмохимическое осаждение углеродных пленок из смеси углеводородов (метан, пропан-бутан) с гелием проводилось в условиях разряда постоянного тока при атмосферном давлении на подложки (Ni, Cu),которые являлись катодом в процессе разряда. При малых временах осаждения наблюдается образование преимущественно разупорядоченных пленок из графитовых кристаллитов. С увеличением продолжительности осаждения формируется массив углеродных нанотрубок, покрытых структурированным углеродом, по краю пленки образуются слои графитированных чешуек.

Автор:  С. А. Жданок, И. С. Крылов, М. А.Силенков, С. А. Филатов, С. В. Шушков
Ключевые слова:  плазмохимическое осаждение, катодное покрытие, углеродные наноматериалы, пленки, нанотрубки, графитовые кластеры.
Стр:  498

С. А. Жданок, И. С. Крылов, М. А.Силенков, С. А. Филатов, С. В. Шушков.  ОСАЖДЕНИЕ КАТОДНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК В ПЛАЗМЕ СЛАБОТОКОВОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 84, №3. С. 498.


Возврат к списку