ТОМ 91,   №5

ВЛИЯНИЕ БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ



Исследована возможность улучшения электрофизических параметров подзатворного диэлектрика, полученного в результате пирогенного окисления кремния, путем его быстрой термической обработки. Показано, что такая обработка подзатворного диэлектрика позволяет уменьшить напряжение плоских зон,, заряд на границе раздела кремний–двуокись кремния и поверхностный потенциал, увеличить пробивное напряжение диэлектрика и уменьшить ток утечки в нем
 
Автор:  В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, В. А. Горушко
Ключевые слова:  быстрая термическая обработка, нарушенный слой, кремниевая пластина, твердофазная рекристаллизация, коэффициенты преломления и поглощения
Стр:  1408

В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, В. А. Горушко.  ВЛИЯНИЕ БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ // Инженерно-физический журнал. 2018. ТОМ 91, №5. С. 1408.


Возврат к списку