УДК 669.3.782.61.1

В. А. Бородуля, Л. М. Виноградов, О. С. Рабинович, А. В. Акулич

ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ И МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ В РЕАКТОРЕ КИПЯЩЕГО СЛОЯ
Выполнен теоретический анализ и рассмотрены основные проблемы технологии получения поликристаллического кремния пиролитическим разложением моносилана в реакторе кипящего слоя. Представлены одномерная двухфазная модель данного процесса и основные результаты математического моделирования. Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова НАН Беларуси. 220072, г. Минск, ул. П. Бровки, 15. Поступила 13.08.2004.