УДК 621.3.049.77.621.373.826 В. А. Пилипенко, В. Н. Пономарь, В. А. ГорушкоОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР В ТЕХНОЛОГИИ СБИС С ПРИМЕНЕНИЕМ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ
Изложены результаты исследования качества очистки поверхности кремния, двуокиси кремния и пленок алюминия с применением быстрой термической обработки перед нанесением фоторезиста и ее влияние на процесс ухода линейных размеров при травлении топологического рисунка. Все результаты рассмотрены в сопоставлении с традиционными методами очистки поверхности. Приведены параметры элементов сверхбольших интегральных схем, изготовленных с применением быстрой термической обработки для очистки поверхностей различных тонкопленочных материалов на кремнии. Научно-производственное объединение "Интеграл". Беларусь, 220064, г. Минск, ул. Корженевского, 12; э-почта: belms@belms.belpak.minsk.by. Поступила 05.03.2003.