УДК 621.362.1

Х. Т. Игамбердиев1), К. Э. Онаркулов2), 
Р. Т. Расулов2), Д. А. Юсупова2)

ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТЕНЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ПЛЕНОК
ТЕЛЛУРИДА ВИСМУТА-СУРЬМЫ

Предлагается новая конструкция полупроводникового датчика 
давления на основе тензочувствительных пленок теллурида висмута-сурьмы, 
позволяющая обеспечить термокомпенсацию всей приборной структуры. 
Приводятся технические характеристики предлагаемого тензометрического 
датчика для измерения давлений жидкостей и газов.

1)Отдел теплофизики АН Республики Узбекистан, г. Ташкент; 
2)Ферганский государственный университет. Поступила 
11.12.2001, в окончательной редакции - 16.05.2002.

IFZH74920200218
IFZH7492018