Применение неравновесной плазмы RF-емкостного разряда для улучшения газоразделительных свойств полимерных мембран

Название: Применение неравновесной плазмы RF-емкостного разряда для улучшения газоразделительных свойств полимерных мембран
В.Е.Брагин, А.Н.Быканов, В.Д.Матюхин, В.Ф.Муравьев, В.Д.Русанов
V.E.Bragin, A.N.Bykanov, V.D.Matjuhin, V.F.Muravjev, V.D.Rusanov
Application of nonequihbrium RF capactive discharge plasma for improvement gas-separating properties of polymer membranes
Москва, Россия