Изменение структуры поверхности газоразделительных мембран в неравновесных условиях в RF разряде

Название: Изменение структуры поверхности газоразделительных мембран в неравновесных условиях в RF разряде
В.Е.Брагин, А.Н.Быканов, В.Д.Матюхин, В.Ф.Муравьев, В.Д.Русанов
V.E.Bragin, A.N.Bykanov, V.D.Matjuhin, V.F.Muravjev, V.D.Rusanov
Changes of gas separating membranes surface stucture under non equilibrium conditions in RF discharge
Москва, Россия