Спектроскопическая диагностика неравновесной фторуглеродной HF-плазмы низкого давления

Название: Спектроскопическая диагностика неравновесной фторуглеродной HF-плазмы низкого давления
В.В.Ажаронок, И.И.Филатова, В.Д.Шиманович, С.Л.Парахневич, Н.П.Олтншец, М.В.Кунашевич, О.В.Лукьянцев
V.V.Azharonok, I.I.Filatova, V.D.Shimanovitch, S.L.Parahnevitch, N.P.Oltnshets, M.V.Kunashevitch, O.V.Lukyantcev
Spectroscopic diagnostics of low-pressure nonequihbrium fluorcarbon HF-plasma
Минск, Беларусь