Моделирование зависимостей параметров плазмы в модулированном разряде постоянного тока CF4 DC

Название: Моделирование зависимостей параметров плазмы в модулированном разряде постоянного тока CF4 DC
Н.А.Попов, Д.И.Словецкий, В.Н.Волынец
N.A.Popov, D.I.Slovetsky, V.N.Volynets
Plasma parameters dependences modelling in modulated CFi DC discharge
Москва, Россия