Численное моделирование процессов тепломассопереноса в PECVD реакторах для выращивания кремниевых пленок в условиях интенсивного образования высших силанов в газовой фазе

Название: Численное моделирование процессов тепломассопереноса в PECVD реакторах для выращивания кремниевых пленок в условиях интенсивного образования высших силанов в газовой фазе
Ю.Е. Горбачев, М.А. Затевахин, А.А. Игнатьев, В.В. Кржижановская.