Задачи тепломассопереноса в нетрадиционной технологии получения полупроводникового кремния

Название: Задачи тепломассопереноса в нетрадиционной технологии получения полупроводникового кремния
В.И. Хитько, В.Н. Степаненко, В.А. Бородуля, Л.М. Виноградов, В.А. Немцев.