Лазерная модификация и осаждение фторполимерного покрытия для изменения смачиваемости кремния от супергидрофильности до супергидрофобности

Название: Лазерная модификация и осаждение фторполимерного покрытия для изменения смачиваемости кремния от супергидрофильности до супергидрофобности
Старинский С. В., Родионов А. А., Шухов Ю. Г., Гатапова Е. Я., Сафонов А. И., Булгаков А. В.