Теплообмен в наноразмерных МЭМС структурах широкодиапазонных датчиков оптического излучения=

Название: Теплообмен в наноразмерных МЭМС структурах широкодиапазонных датчиков оптического излучения=
Филатов С. А., Таратын И. А., Кернасовский Ю. М., Батырев Е. В., Долгих М. Н., Филатова О. С., Кучинский Г. С.