Влияние газодинамики на процесс газофазного осаждения структур, активируемых низкотемпературной плазмой

Название: Влияние газодинамики на процесс газофазного осаждения структур, активируемых низкотемпературной плазмой
Одинокое В. В., Павлов Г. Я., Самойликов В. К., Иракин П. А.