Экспериментальное исследование тепломассообмена при осаждении слоев из газовой фазы при пониженном давлении

Название: Экспериментальное исследование тепломассообмена при осаждении слоев из газовой фазы при пониженном давлении
В.К. Самойликов, С.Н. Батюк, К.-Г.М. Шварц.