Тепломассоперенос в процессах химического осаждения неорганических покрытий из газовой фазы при пониженных давлениях

Название: Тепломассоперенос в процессах химического осаждения неорганических покрытий из газовой фазы при пониженных давлениях
B.П. Попов, В.Г. Минкина.