Термокинетическая неустойчивость при химическом осаждении пленок , двуокиси кремния из газовой фазы

Название: Термокинетическая неустойчивость при химическом осаждении пленок , двуокиси кремния из газовой фазы
В.Е. Аверьянов, А.М, Томчинский, Т.И. Юшина.