Моделирование процессов тепломассообмена при газофазном химическом осаждении слоев селенида цинка в проточном реакторе

Название: Моделирование процессов тепломассообмена при газофазном химическом осаждении слоев селенида цинка в проточном реакторе
B. Г. Минкина