ТОМ 60,   №1

Оптимизация конструкции реакционной камеры по распределению температуры в полупроводниковой пластине при нагреве некогерентным излучением


 

Автор:  Сеченов Д. А., Светличный А. М., Клово А. Г., Соловьев С. И., Зиновенко С. И
Стр:  130

Сеченов Д. А., Светличный А. М., Клово А. Г., Соловьев С. И., Зиновенко С. И.  Оптимизация конструкции реакционной камеры по распределению температуры в полупроводниковой пластине при нагреве некогерентным излучением // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 60, №1. С. 130.


Возврат к списку