ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ НАНЕСЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЙ ИЗ Ti–Zr–Si–N НА ИХ СОСТАВ, СТРУКТУРУ И ТРИБОМЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

На подложках из нержавеющей стали, предварительно очищенных ионами Ar+, получены наноструктурированные покрытия толщиной от 1.5 до 2 мкм путем реактивного магнетронного распыления композиционных мишеней Ti–Zr–Si с содержанием компонентов 56, 36, 8 ат.% и 36, 56, 8 ат.% соответственно Методами обратного резерфордовского рассеяния и просвечивающей электронной микроскопии изучены структура полученных покрытий, их фазовый состав и распределение компонентов по глубине покрытий. Проведены измерения микротвердости покрытий и исследованы их основные трибомеханические характеристики. Изучена зависимость состава и свойств покрытий от условий их нанесения. Определены оптимальные режимы нанесения покрытий с высокими трибомеханическими свойствами, обеспечивающие микротвердость покрытия 31 ГПа и уменьшение коэффициента трения в 2 раза.
Автор:  Ф. Ф. Комаров, В. В. Пилько, И. М. Климович
Ключевые слова:  трение, износ, покрытие, магнетронное распыление
Стр:  350