ТОМ 72,   №1

Формирование границы раздела пленка-подложка в системе кремний-алмаз


Представлены результаты исследований сил взаимодействия пары изолированных атомов углерода, а также атома углерода газовой фазы с алмазной и кремниевой подложками в зависимости от расстояний между ними. На основании полученных результатов сделан вывод, что причиной, обусловливающей переход атомов к упорядоченному расположению при формировании монокристаллической пленки, служат силы взаимодействия между атомами осадка, электронная структура которых может изменяться при изменении энергии взаимодействия.

Автор:  Л. О. Мелешко
Стр:  138-140

Л. О. Мелешко.  Формирование границы раздела пленка-подложка в системе кремний-алмаз // Инженерно-физический журнал. 1999. ТОМ 72, №1. С. 138-140.


Возврат к списку