ТОМ 22,   №1

Распределение атомов примеси в объеме полупроводника при диффузии в щель в маскирующей пленке


 

Автор:  Ю. Ф. Блинов, Д. А. Сеченов
Стр:  163

Ю. Ф. Блинов, Д. А. Сеченов.  Распределение атомов примеси в объеме полупроводника при диффузии в щель в маскирующей пленке // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 22, №1. С. 163.


Возврат к списку