Александров Л. Н. , Коган А. Н. , Дьяконова В. И..  Распределение примесей по толщине пленки при росте из газовой фазы, полученное моделирования на ЭВМ // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 45, №2. С. 320.