УДК 621.793.16+661.66

С. В. Шушков1, И. С. Крылов1, С. В. Гусакова2, 
М. А. Силенков3, С. А. Жданок1

СТРУКТУРА УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК, ОСАЖДЕННЫХ ИЗ ГАЗОВОГО РАЗРЯДА ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ

Углеродные пленки формировались на анодных (Ni, Cu) подложках из слаботокового (10-100 мА) газового разряда 
в смеси He/CH4 при атмосферном давлении. При осаждении на подложки без подогрева образуются аморфные пленки 
с субмикронной фрактальной структурой поверхности. Пленки, выращенные на подогреваемой (~1000oС) подложке, имеют 
слоистую графитированную структуру.

Ключевые слова: газовый разряд, плазменное осаждение, углеродные пленки, графеновые структуры.

1Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова НАН Беларуси. 220072, г. Минск, ул. П. Бровки, 15; 
э-почта: chouch@itmo.by; 2Белорусский государственный университет. 220050, г. Минск, ул. Бобруйская, 5; 
3Международный государственный экологический университет им. А. Д. Сахарова. Республика Беларусь, 220070, 
г. Минск, ул. Долгобродская, 23. Поступила 19.03.2012.