УДК 621.3.084.866 Г. В. Шаронов, С. А. ПетровСУПЕРФИНИШНАЯ ПОЛИРОВКА АЛМАЗНЫХ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ ЭПИТАКСИАЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИИ
Проведена оптимизация режимов суперфинишной виброполировки монокристаллических синтетических алмазных подложек. Установлено, что после их полировки в течение 100 ч шероховатость поверхности составила 0.43 нм. Предложена и обоснована методика контроля структурного совершенства приповерхностного слоя алмазных подложек после их шлифовки и полировки. Рентгенодифракционные исследования показывают возможность использования данной методики при отборе годных подложек для технологии эпитаксиального роста алмазных пленок в микро- и наноэлектронике. Ключевые слова: монокристаллическая синтетическая алмазная подложка, шлифовка, суперфинишная вибрационная полировка, эпитаксиальная технология, шероховатость и совершенство кристаллической структуры, угол дифракции рентгеновских лучей, полуширина и асимметрия кривой отражения рентгеновских лучей. Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко Белорусского государственного университета. 220108, г. Минск, ул. Курчатова, 7; э-почта: sharonov@hotmail.ru. Поступила 08.09.2010.