УДК 621.382:621.373.820

В. А. Пилипенко, Д. В. Вечер, В. А. Горушко,
В. С. Сякерский, Т. В. Петлицкая

СВОЙСТВА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ ИМПУЛЬСАМИ НАНОСЕКУНДНОЙ ДЛИТЕЛЬНОСТИ
Изложены результаты использования лазерного излучения наносекундной длительности импульса в технологии создания сверхбольших интегральных схем. Показано, что в зависимости от режима обработки можно как устранять механические нарушения кристаллической решетки кремния, так и создавать геттерирующий слой, обеспечивающий очистку кремния от примесных загрязнений. Завод полупроводниковых приборов НПО "Интеграл". 220108, г. Минск, пл. Казинца, 1. Поступила 12.04.2007, в окончательной редакции - 01.10.2007.