УДК 621.382:621.373.820

В. А. Пилипенко, В. Н. Пономарь, В. А. Горушко

МОДЕЛЬ ЛАЗЕРНОГО ГЕТТЕРИРОВАНИЯ 
БЫСТРОДИФФУНДИРУЮЩИХ ПРИМЕСЕЙ

Предложена модель геттерирования быстродиффундирующих 
примесей в кремниевых пластинах, позволяющая определить эффективные 
режимы его проведения, обеспечивающие получение высококачественных 
кремниевых пластин с воспроизводимыми характеристиками для применения 
их в технологии создания сверхбольших интегральных схем.

Унитарное предприятие "Белмикросистемы" НПО "Интеграл". 
Республика Беларусь, 220064, г. Минск, ул. Корженевского, 12. 
Поступила 08.06.2004.