УДК 621.382:621.373.820

В. А. Пилипенко, В. М. Молофеев, В. Н. Пономарь, 
А. Н. Михнюк, В. М. Борздов

МОДЕЛИРОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПЛЕНОК АЛЮМИНИЯ ДО И ПОСЛЕ РАЗЛИЧНЫХ ВИДОВ ТЕРМООБРАБОТКИ
Рассмотрен процесс изменения структуры пленок алюминия на кремнии при формировании металлизации интегральных микросхем в условиях как длительной, так и быстрой термообработок. Предложена аналитическая модель образования и рекристаллизации конденсируемых пленок алюминия, основанная на использовании метода Монте-Карло, описывающая изменение размера зерен и углов в тройных точках в зависимости от температуры и времени термообработки. Унитарное предприятие "Белмикросистемы" НПО "Интеграл", г. Минск. Поступила 28.10.2002.