УДК 621.3.049.77.621.373.826

В. А. Пилипенко, В. Н. Пономарь, В. А. Горушко

УПРАВЛЕНИЕ СВОЙСТВАМИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ
С ПРИМЕНЕНИЕМ ИМПУЛЬСНОЙ ФОТОННОЙ ОБРАБОТКИ

Разработан принципиально новый технологический процесс 
изготовления сверхбольших интегральных схем, не имеющий аналогов и 
основанный на применении быстрых термообработок для создания геттерирующих 
слоев, окисления кремния, отжига ионно-легированных слоев, оплавления 
фосфоро- и борофосфоросиликатных стекол, формирования силицидов и 
повышения термостабильности алюминиевой металлизации.

Унитарное предприятие "Белмикросистемы" НПО "Интеграл", 
г. Минск. Поступила 28.10.2002.