УДК 533.722:541.183

O. Е. Герасимова1), С. Ф. Борисов1), 
К. Бораньо 2), У. Валбуса2)

МОДЕЛИРОВАНИЕ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В ГАЗОДИНАМИЧЕСКИХ 
ЗАДАЧАХ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ДАННЫХ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ

Методом атомно-силовой микроскопии исследована морфология 
поверхности монокристаллического кремния в зависимости от степени 
окисления. С использованием топографических изображений оценена шероховатость 
поверхности на различных стадиях обработки. Обнаружено, что среднеквадратичное 
отклонение, характеризующее распределение микронеровностей по высоте, 
или шероховатость, увеличивается по мере окисления образца. Представлена 
гистограмма распределения структурных элементов поверхности. Полученные 
данные могут быть использованы при задании граничных условий к газодинамическим 
задачам.

1)Уральский государственный университет, г. Екатеринбург; 
э-почта: Sergei.Borisov@usu.ru; 2)Университет Генуи, Италия. 
Поступила 11.10.2002.