УДК 519.6:541.1

Г. А. Тарнавский1), С. И. Шпак1),
М. С. Обрехт2)

ОСОБЕННОСТИ СЕГРЕГАЦИИ ЛЕГИРУЮЩИХ ПРИМЕСЕЙ ЭЛЕМЕНТОВ V(a)-ПОДГРУППЫ НА УГЛОВЫХ КОНФИГУРАЦИЯХ ГРАНИЦЫ ОКИСЛЕНИЯ "КРЕМНИЙ/ДВУОКИСЬ КРЕМНИЯ"
На основе компьютерного моделирования физико-химического процесса сегрегации легирующих примесей, имплантированных в базовый материал (кремний), изучаются особенности эжекции элементов V(a)-подгруппы (фосфора, мышьяка и сурьмы) на угловых конфигурациях границы окисления "кремний/двуокись кремния". 1)Институт теоретической и прикладной механики СО РАН, Новосибирск; э-почта: shpak@itam.nsc.ru; 2)University of Waterloo, Ontario, Canada; э-почта: obrecht@siborg.ca. Поступила 03.04.2001. IFZH7492020024 IFZH749204