УДК 533.7:536.422.4

В. В. Левданский, И. Смолик

КИНЕТИКА ФИЗИЧЕСКОГО И ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ВЕЩЕСТВА ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ В КАНАЛАХ
На основании молекулярно-кинетического подхода исследуются процессы физического и химического осаждения вещества из газовой фазы на внутренней поверхности канала. Обсуждается проблема нанесения равномерных по толщине пленок. Академический научный комплекс "Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова" НАН Беларуси, г. Минск; Институт химических процессов АН ЧР, г. Прага; э-почта: vlev5@yahoo.com. Поступила 20.02.2001. IFZH7492020012 IFZH749202