УДК 681.3+519.6 

О. И. Величко , Ф. Ф. Комаров , Н. М. Луканов ,
А. Н. Мучинский , Н. Л. Прохоренко , В. А. Цурко

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ДИФФУЗИИ 
ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО МЫШЬЯКА
В СИСТЕМЕ ПОЛИКРЕМНИЙ-КРЕМНИЙ

Построена модель процессов переноса примесных атомов в 
системе   поликремний-кремний,   описывающая   явление 
сегрегации   примеси   вблизи   границы   раздела фаз. 
Разработан  алгоритм  и  проведены  численные  расчеты 
процесса  диффузии  мышьяка  с  учетом   неоднородного 
распределения дефектов вблизи границы раздела фаз.

Белорусский государственный университет, г. Минск,
Научно-производственный комплекс
7QUOT;Технологический центр", г. Москва,
Белорусский государственный университет информатики 
и радиоэлектроники,
Институт математики АН Беларуси,
Институт технической кибернетики АН Беларуси, 
г. Минск