Предназначен для комплексной характеризации структурно-морфологических, механических, электрических и магнитных свойств поверхности исследуемых образцов (наноструктурированные материалы, тонкие пленки, квазиодномерные объекты, квантовые точки, биологические клетки) с высоким пространственным разрешением (вплоть до атомарного уровня).
Точность позиционирования зонда по XY – ± 0,2 нм; по Z – ± 0,03 нм.
Размеры максимального поля сканирования (XYZ): 90×90×9 мкм