Измерение и анализ микро- и нанорельефа поверхностей, объектов микро- и нанометрового размерного диапазона, микромеханических и других свойств с высоким разрешением.
Точность позиционирования зонда по XY – ± 0,3 нм; по Z – ± 0,06 нм.
Размеры максимального поля сканирования (XYZ): 28×28×3 мкм.