Описание
Предназначено для получения изображения микрогеометрии поверхности объектов интерференционных изображений в белом или монохроматическом свете, наблюдения микрогеометрических поверхностей объектов, цифровой регистрации и анализа строения границ интерференционных изображений.
Основные характеристики:
- диапазон измерения параметров шереховатости поверхности Rmax, RZ и толщины пленок: от 0,1 до 0,8 мкм
- пределы допускаемой систематической погрешности при измерении Rmax, RZ: 22 %
- увеличение микроинтерферометра при наблюдении с окулярным микрометром: 500
- линейное поле микроинтерферометра в пространстве предмета при наблюдении с окулярным микрометром: 0,30 мм
- диапазон перемещения предметного столика в горизонтальной плоскости в продольном и поперечном направлениях: от 0 до 10 мм
- длина волны максимума пропускания интерференционных светофильтров:
- зеленый - 533,7 нм
- желтый - 595,0 нм
- коэффициент пропускания интерференционных светофильтров:
- зеленый - 38 %
- желтый - 44 %
- полуширина интерференционных светофильтров
- зеленый - 8,5 нм
- желтый -9 нм