Описание
Назначение и основные характеристики
Предназначено для получения изображения микрогеометрии поверхности объектов интерференционных изображений в белом или монохроматическом свете, наблюдения микрогеометрических поверхностей объектов, цифровой регистрации и анализа строения границ интерференционных изображений
|
- диапазон измерения параметров шереховатости поверхности Rmax, RZ и толщины пленок: от 0,1 до 0,8 мкм - пределы допускаемой систематической погрешности при измерении Rmax, RZ: 22 % - увеличение микроинтерферометра при наблюдении с окулярным микрометром: 500 - линейное поле микроинтерферометра в пространстве предмета при наблюдении с окулярным микрометром: 0,30 мм - диапазон перемещения предметного столика в горизонтальной плоскости в продольном и поперечном направлениях: от 0 до 10 мм - длина волны максимума пропускания интерференционных светофильтров: зеленый - 533,7 нм желтый - 595,0 нм - коэффициент пропускания интерференционных светофильтров: зеленый - 38 % желтый - 44 % - полуширина интерференционных светофильтров зеленый - 8,5 нм желтый -9 нм |